功能特点

◆ 结构设计合理，技术成熟

◆ 震动小，可靠性好，产量大

◆ 操作简单，维修方便，整机运行稳定可靠

技术参数

◆ 晶圆尺寸适用于2-12 寸生产线

◆ 碎片率万分之一

应用领域

◆ SPM 酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE 蚀刻、匀胶等各种制程工艺晶圆片甩干

设备功能

◆ 设备分2工位和4工位，可清洗2-12 寸硅片、氮化钾、砷化镓、蓝宝石、半导体、LED、太阳能等湿法

工艺甩干旋干，实现包括清洗、甩干、氮气烘干、工作腔干燥。

工艺参数

厂务条件

功能特点

◆ 结构设计合理，技术成熟

◆ 操作简单，维修方便，整机运行稳定可靠

技术参数

◆ 晶圆尺寸适用于2-12 寸生产线

◆ 碎片率万分之一

应用领域

◆ SPM 酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE 蚀刻、匀胶等各种制程工艺晶圆片甩干

设备功能

◆ 设备分2工位和4工位，可清洗2-12 寸硅片、氮化钾、砷化镓、蓝宝石、半导体、LED、太阳能等湿法

工艺甩干旋干，实现包括清洗、甩干、氮气烘干、工作腔干燥。

工艺参数

厂务条件

功能特点

◆ 用PLC 智能控制，使所有的操作可靠，程序智能化。

◆ 采用独特传动结构设计，确保设备在高速运行状态下震动小，稳定性高。

◆ 转轴氮气密封，迷宫式设计，保证设备运行时腔内与外部环境隔离。

◆ 旋干桶螺旋设计、便于排水排风顺畅，减少二次回流。

◆ 门盖高效FUU+ 初效过滤洁净空气进行高速离心甩干，高效、节能、环保。

◆ 主要部件采用质优不锈钢SUS316L 材料。框架采用高强钢板一体焊接成型、喷粉工艺。

◆ 观设计新颖、人性化设计，操作方便简单。

◆ 旋转机构经精密的动平衡校验，主框架采用承载式结构，保证系统工作时、平衡、稳定。

◆ 单台机可作业较多3 种尺寸进行切换，兼容性强。

◆ 跟自动清洗机台搭配使用，节约空间，高效，节约人工成本。

◆ 可提供干接点和通讯两种联机模式。

◆ 工艺成熟，性能稳定，震动小（带震动保护)。

◆ 防尘特殊设计。

◆ 可单机，可联机。

◆ 片架向上，方便机械臂或人工取料，对大尺寸更方便。